ASML,一家专注于光刻设备制造的公司,最近在其官方网上商城推出了一款特殊的纪念品——TWINSCAN EXE:5000 EUV光刻机乐高模型套装。这款套装的价格为1653元人民币。
该模型由ASML员工兼乐高爱好者Rick Lenssen设计,包含851个零件。它的尺寸为宽352mm、高99mm、深64mm,完美地复制了TWINSCAN EXE:5000的外观。
High NA EUV光刻机是全球首款使用0.55NA数值孔径的光刻机。其分辨率达到8nm,成像对比度比之前NXE系列0.33NA EUV系统提高了40%。它支持2nm逻辑节点图案化,并且单台售价高达3.5亿欧元。
值得一提的是,Rick Lenssen此前曾花费2.5年时间(1.5年设计蓝图、1年实际组装)用乐高积木复现了ASML的费尔德霍芬主园区,并推出了多款以ASML为主题的乐高套装产品。
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